量/检测设备是集成电路制造中保证良品率的关键，全球2021年市场规模约100亿美元，竞争格局集中，美国KLA一家独大。

国内半导体量/检测设备领先企业，打造中国KLA 半导体量/检测设备国产化率3%，公司有望深度受益于国产替代量/检测设备是集成电路制造中保证良品率的关键，全球2021年市场规模约100亿美元，竞争格局集中，美国KLA（市占率54%）一家独大。

国内主要有中科飞测、上海精测、上海睿励（中微公司持股）及东方晶源等公司，在图形/无图形晶圆检测、膜厚/关键尺寸/套刻量测等多个细分领域持续发力突破 中科飞测成立于2014年，公司检测类无图形检测和微米图形检测量产，纳米图形产品积极验证中，量测产品中三维形貌量测量产，膜厚、套刻等陆续验证导入，应用于国内28nm及以上制程。

22年营收5亿元（yoy+41%,无图形检测2.55亿元，图形检测1.3亿元，量测1.2亿元）国内体量最大，研发费用率高达40%2022年末公司合同负债4.8亿，存货中发出商品4.3亿，在手订单充足 我们预计公司2023-2025年分别实现营收7.9/11.6/15.6亿元，同比增长55%/47%/35%，归母净利润为0.4/1/1.8亿元,同比增长270%/120%/93%，EPS分别为0.14/0.3/0.57元。

目前国内半导体量/检测设备国产替代空间巨大，叠加创新驱动及自主可控下国内晶圆厂资本开支持续提升，公司具备长期持续且较高的成长性首次覆盖，给予“买入”评级

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